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Y-TON 高纯度高压气瓶
所属分类
1.Y-TON气瓶专为半导体工厂及其他对气体质量有要求的制造厂设计，提供高纯气体运输储存方案。
2.提供多种符合国际规范的产品，涵DOT3AA/DOT3AAX、ISO、KGS等认证。
3.气瓶内部粗糙度可达到1S，采用加热抽真空工艺，可将水分含量降至0.5ppmv。
详情
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产品规格 |
充装介质 |
气瓶数量 |
水容积 |
使用压力 |
气瓶重量 (kg) |
空箱质量 (kg) |
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Y-TON 440L |
SiH4, NF3, N20, SF6, CO2, CF4, NH3, HCl, CHF3, C2F6, NH3, Cl2, C4F6, C4F8, PH3+H2, SiH2Cl2, COF2, BCl3等 |
1 |
440 |
166 |
556 |
706 |
|
Y-TON 470L |
1 |
470 |
166 |
565 |
715 |
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