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Y-TON 高纯度高压气瓶
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Y-TON 高纯度高压气瓶

1.Y-TON气瓶专为半导体工厂及其他对气体质量有要求的制造厂设计，提供高纯气体运输储存方案。

2.提供多种符合国际规范的产品，涵DOT3AA/DOT3AAX、ISO、KGS等认证。

3.气瓶内部粗糙度可达到1S，采用加热抽真空工艺，可将水分含量降至0.5ppmv。
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充装介质

气瓶数量
(EA)

水容积
(L)

使用压力
(bar)

气瓶重量

(kg)

空箱质量

(kg)

Y-TON 440L

SiH4, NF3, N20, SF6, CO2,

CF4, NH3, HCl, CHF3, C2F6,

NH3, Cl2, C4F6, C4F8, PH3+H2, SiH2Cl2,  COF2,  BCl3等

1

440

166

556

706

Y-TON 470L

1

470

166

565

715

 

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3. 适用于SiH4、NF3、N2O、CF4、PH3+H2、 HCl、SF6等多种高纯气体，满足不同运输需求。

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